Resumo
Atualmente, a alumina com DBC (Direct Bonding Copper) é a mais usada como substrato para dispositivos eletrônicos de alta potência. Porém, a sua baixa condutividade térmica e o alto coeficiente de expansão térmica (CET) em relação ao Si limitam a sua aplicação na fabricação de dispositivos com potências mais elevadas. O nitreto de alumínio (AlN) é uma nova cerâmica avançada que apresenta,…